公开/公告号CN109569658B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-02
原文格式PDF
申请/专利权人 中南大学;
申请/专利号CN201910018040.1
申请日2019-01-09
分类号B01J27/04(20060101);B01J35/06(20060101);C23C18/12(20060101);H01M4/1397(20100101);
代理机构43207 长沙智德知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人曾芳琴
地址 410083 湖南省长沙市岳麓区麓山南路932号
入库时间 2022-08-23 11:37:32
机译: 坩埚组件,一种用于控制其加热装置的方法以及一种薄膜沉积设备,该薄膜沉积设备包括能够显着提高用于加热和蒸发有机材料的工作效率的薄膜沉积设备
机译: 制造能够提高薄膜质量的半导体器件的方法,一种处理基质的方法,一种基质处理设备以及一种记录介质
机译: 一种通过对塑料薄膜进行放电处理来提高基材与塑料薄膜之间粘附力的方法。