确定在光刻步骤中待施加到衬底的图案的组合

摘要

描述了一种配置成处理多个衬底的直接写入曝光设备，所述设备包括：衬底保持器，所述衬底保持器配置成保持具有可用图案化区域的衬底；图案形成系统，所述图案形成系统配置成将不同图案投影到所述衬底上；处理系统，所述处理系统配置成：确定待施加于所述多个衬底的第一衬底上的一个或更多个图案的第一组合；和确定待施加于所述多个衬底的后续第二衬底上的一个或更多个图案的不同的第二组合。