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公开/公告号CN109969456B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-23
原文格式PDF
申请/专利权人 沈阳新松机器人自动化股份有限公司;
申请/专利号CN201711455468.X
发明设计人 何书龙;华正雨;赵治国;边弘晔;于大元;周昊;
申请日2017-12-28
分类号B65B31/02(20060101);
代理机构21002 沈阳科苑专利商标代理有限公司;
代理人许宗富
地址 110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号
入库时间 2022-08-23 11:36:26
机译: 用于FOUP的处理系统,特别是用于半导体晶片处理的处理系统,其装载端口设有保持装置,用于存储对齐的FOUP而不进行处理
机译: 防止将FOUP门错误插入FOUP的系统
机译: FOUP门对FOUP的防止插入系统不足
机译:前开式统一吊舱(FOUP)的氮气吹扫系统的设计和评估
机译:FOUP氮气置换放气阀
机译:下一代清洁技术的FOUP氮气净化的初步研究
机译:适用于先进半导体制造工艺的450mm FOUP / LPU系统:关于门打开时FOUP内部氧含量最小化的研究
机译:一种基于DMAIC的方法,用于对自动处方填充系统进行系统测试。
机译:一种在真空或干燥氮气条件下塞住瓶子和安瓿的装置。
机译:氮气中真空电弧沉积方式对Mo-N系统纳米晶涂层的相组成,亚结构特征和力学性能的影响
机译:真空系统中的氮气压力