一种基于MEMS的集成式红外气体传感器

摘要

本发明涉及一种基于MEMS的集成式红外气体传感器，包括PCB、未封装的MEMS红外光源、未封装的红外探测器、气室、滤光片和金属外壳；金属外壳固定在PCB上，金属外壳与PCB形成安装室，未封装的MEMS红外光源、未封装的红外探测器、滤光片和气室设置在安装室中；气室由气室壳体围设而成，气室壳体固定在PCB上，且气室壳体的底部开设有通气孔；PCB上开设有通孔，通气孔与通孔相连通。本发明基于MEMS技术，实现芯片级集成的红外气体传感器，大大减低了红外气体传感器的成本、大大减小红外气体传感器的尺寸，并缩减了体积；同时红外气体传感器具有结构简单、成本低的特点，并且产品一致性好。