减压干燥装置、减压干燥系统、减压干燥方法

摘要

本发明提供减压干燥装置、减压干燥系统、减压干燥方法。减压干燥装置包括：支撑部，对涂布有膜的基板进行支撑；基板收容部，包含可连接分离的第1覆盖部及第2覆盖部，将支撑于支撑部的基板收容于第1覆盖部与第2覆盖部之间的处理空间；连接分离驱动部，通过使第1覆盖部与第2覆盖部接触而封闭处理空间，另一方面，通过使第1覆盖部与第2覆盖部分离而打开处理空间；减压机构，通过使经封闭的处理空间减压，而使涂布于基板上的膜干燥；以及排气机构，配置在基板收容部的外侧，从分离的第1覆盖部及第2覆盖部各自的周缘部之间排出处理空间内的气化成分。可抑制来自膜的气化成分飞散至基板收容部的外部且可从基板收容部的内部去除气化成分。