公开/公告号CN106935734B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-10-11
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN201610881393.0
申请日2016-10-09
分类号
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司;
代理人龙淳
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 10:40:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-11
授权
授权
2018-05-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L51/56 申请日:20161009
实质审查的生效
2018-05-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 51/56 申请日:20161009
实质审查的生效
2017-07-07
公开
公开
2017-07-07
公开
公开
2017-07-07
公开
公开
查看全部
机译: 装置减压干燥装置的检查及减压干燥装置的控制方法
机译: 回收型减压干燥装置及使用该减压干燥装置的食品的减压干燥方法
机译: 减压干燥装置,减压干燥系统及减压干燥方法