公开/公告号CN100431092C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-11-05
原文格式PDF
申请/专利权人 拉姆研究公司;
申请/专利号CN03801405.X
申请日2003-09-30
分类号
代理机构北京三友知识产权代理有限公司;
代理人李辉
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:01:19
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-11-24
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/00 授权公告日:20081105 终止日期:20160930 申请日:20030930
专利权的终止
2008-11-05
授权
授权
2008-11-05
授权
授权
2005-10-26
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-10-26
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-02-09
公开
公开
2005-02-09
公开
公开
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机译: 用于使用多个入口和出口来干燥半导体晶片表面的方法和设备,所述多个入口和出口保持在晶片表面附近
机译: 利用靠近晶片表面的多个入口和出口干燥半导体晶片表面的方法和装置
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