一种低噪声的SOA-PIN集成光探测器

摘要

本发明公开了一种低噪声的SOA‑PIN集成光探测器，沿信号光传播方向依次包括：SOA部分、PIN部分和全反射镜，所述SOA部分和PIN部分底部共用同一底部电极，顶部为独立设置的SOA顶部电极和PIN顶部电极，全反射镜位于PIN部分的的外侧，所述SOA部分包括光栅空间滤波结构层，其方向为沿着信号光的传播方向，本发明所公开的低噪声的SOA‑PIN集成光探测器体积小、成本较低、适合大规模生产，具有很好的滤除噪声、提高信噪比的作用。