电致迁移测试装置及电致迁移测试方法

摘要

本发明涉及一种电致迁移测试装置，这种电致迁移测试装置具有一个直流电源(101)及一个交流电源(102)。此外，这种电致迁移测试装置还具有一个带有导电结构(100)的电路(104)，导电结构(100)与直流电源(101)及交流电源(102)均有连接。此外，这种电致迁移测试装置还具有一个可以量测呈现导电结构内的电致迁移的电参数用的量测装置。交流电源(102)提供给导电结构(100)的交流电能够将导电装置(100)加热至预定的温度，而且这个交流电不会受到直流电的影响。