一种在C/SiC复合材料表面制备薄膜热电偶的方法

摘要

本发明公开了一种在C/SiC复合材料表面制备薄膜热电偶的方法，具有如下步骤：S1、C/SiC复合材料表面处理；S2、在C/SiC复合材料上制备导电层；S3、电镀沉积Ni‑ZrO₂复合层；S4、机械打磨电镀层；S5、抛光Ni‑Cr‑ZrO₂复合过渡层；S6、制备有复合过渡层的C/SiC复合材料表面处理；S7、制备SiO₂绝缘膜、薄膜热电偶功能薄膜和SiO₂保护膜。本发明制备的Ni‑Cr‑ZrO₂复合过渡层与C/SiC复合材料有良好的结合力，同时可以为薄膜热电偶提供连续平整的附着面，制备出的薄膜热电偶能够满足C/SiC复合材料制造的航空发动机热端部件瞬时表面温度测试需求。