一种薄膜材料相变温度测量装置及方法

摘要

本发明涉及一种薄膜材料相变温度测量装置，包括衬底、电极阵列、探测光光源、信号探测装置、红外测温装置和计算机；衬底为不透光衬底，电极阵列置于衬底上，待测薄膜覆盖于电极阵列的表面，探测光光源向待测薄膜表面发射探测光，在探测光光斑落点平面内，电极阵列在至少一个方向呈现周期性结构，探测光的入射方向与电极的周期性变化方向相同；信号探测装置获取经电极阵列衍射的探测光信号，传输至计算机；电极阵列的一端接电源正极、另一端接电源负极，通电后能够为待测薄膜加热，红外测温装置安装于待测薄膜上方监测待测薄膜的温度，传输至计算机。本发明装置及方法基于光学衍射，能够准确、快速地测量薄膜相变温度，具有快速、无损测量的特点。