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公开/公告号CN110970509B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-02
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201811143763.6
发明设计人 苏艳梅;张冶金;种明;孙捷;孙秀艳;
申请日2018-09-28
分类号H01L31/02(20060101);H01L31/0203(20140101);H01L31/024(20140101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人任岩
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 11:33:38
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