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背入射式量子阱红外探测器单元器件封装装置及方法

摘要

本发明公开了一种背入射式量子阱红外探测器单元器件的封装装置及方法,该方法由以下步骤实现:用粘合剂将量子阱红外探测器单元器件及陶瓷片粘在热沉上;用金丝压焊的方法将量子阱红外探测器单元器件上的不同电极引出到陶瓷片上;用焊锡将引出线焊在陶瓷片上;用螺丝将热沉固定在金属适配器上;用螺丝将适配器固定在杜瓦冷指上;将引出线的另一端焊在杜瓦接线柱上,从而将量子阱红外探测器单元器件上的不同电极引出杜瓦。本发明通过特定形状的适配器与热沉相配合,实现光栅耦合的量子阱红外探测器单元器件的杜瓦封装,因为和面阵器件采用相同的光耦合方式,因此可以更精确的预估面阵器件的特性。

著录项

  • 公开/公告号CN110970509A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-04-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;

    申请/专利号CN201811143763.6

  • 申请日2018-09-28

  • 分类号H01L31/02(20060101);H01L31/0203(20140101);H01L31/024(20140101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人张宇园

  • 地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

  • 入库时间 2023-12-17 07:17:23

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-05-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/02 申请日:20180928

    实质审查的生效

  • 2020-04-07

    公开

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