具有直径和数密度一维梯度的纳米粒子阵列气相合成方法

摘要

本发明是采用气相聚集法团簇束流源(1)产生纳米粒子，通过绝热膨胀获得纳米粒子束流(5)，再经过准直器(4)进入高真空沉积室(6)而形成高度定向的纳米粒子束流；旋转衬底座，使衬底(7)与纳米粒子束流(5)成10°的入射角、并保持衬底(7)与阻挡掩模(11)位于纳米粒子束(5)的曝射区内，控制纳米粒子束流(5)对衬底(7)沉积30秒后，即可在衬底(7)的表面上获得具有直径和数密度一维梯度的纳米粒子阵列。该方法具有高效、低成本、工艺简单等特点，在常见的纳米粒子源的工艺参数下，通过数十秒钟就可以完成纳米粒子梯度阵列的沉积。