一种基于镜面反射的鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法

摘要

本发明公开了一种基于镜面反射的鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法。该方法具体为：将光源照射在待检测超薄透明板的一侧，经待检测超薄透明板的透射光和镜面反射光分别被第一感光装置和第二感光装置接收；如果观测到两个感光装置上同时出现暗斑，则说明瑕疵位于超薄透明板的靠近光源的表面上；如果观测到第一感光装置上出现暗斑而第二感光装置上没有暗斑，则说明瑕疵位于超薄透明板的远离光源的表面上；如果在第一感光装置和第二感光装置上都没有观测到暗斑，则说明超薄透明板上没有瑕疵。本发明的检测方法简单、有效、检测结果精确，能快速实现对于微米量级的超薄板上下表面微小瑕疵的检测。