一种角速率敏感方向直接耦合的四质量块微机械陀螺

摘要

本发明属于微机械陀螺领域，具体涉及一种角速率敏感方向直接耦合的四质量块微机械陀螺。所述四质量块微机械陀螺，包括四个结构相同的质量块，两个外侧的驱动耦合梁和两组中心耦合梁以及一个检测耦合梁。外侧的驱动耦合梁和两组中心耦合梁将四个质量块的驱动框进行连接，实现驱动方向直接耦合。检测耦合梁将四个质量块的检测框连接，实现角速率敏感方向的直接耦合，四质量块微机械陀螺结构为沿驱动和检测方向全对称分布。该发明可将外界的振动信号分解为沿驱动方向和检测方向的两个分量，而四个质量块的检测框的输出信号通过差分方法，可以将两个分量的影响都进行消除，消除外界振动对微机械陀螺的影响。