MEMS加速度计误差的识别和补偿

摘要

一种微机电(MEMS)加速度计，具有检测质块、感测电极和辅助电极。感测电极相对于检测质块而定位，使得由感测电极和检测质块形成的电容响应于沿着加速度计的感测轴的线加速度而变化。辅助电极相对于检测质块定位为使得由辅助电极和检测质块形成的电容响应于线加速度为静态的。感测驱动信号被施加于感测电极，并且辅助驱动信号被施加于辅助电极。感测驱动信号和辅助驱动信号具有不同的频率。基于信号的接收自加速度计的且对辅助驱动信号作出响应的部分来识别误差。基于所识别的误差对加速度计执行补偿。