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大口径凸锥镜面形检测系统及检测方法

摘要

一种大口径凸锥镜面形拼接检测装置及检测方法,检测装置包含:波面测量干涉仪、干涉仪支架、平面标准镜、计算全息片、供待测凸锥镜放置的工件台;波面测量干涉仪安装在干涉仪支架上,工件台能够垂直于波面测量干涉仪光轴方向的360度旋转调节,且平行于波面测量干涉仪光轴方向的平移调节;待测凸锥镜的对称轴与工件台的旋转轴重合,待测凸锥镜的对称轴与波面测量干涉仪之间不共轴。本发明具有装置简单、测量效率高、测量口径范围大的特点。

著录项

  • 公开/公告号CN109612405B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-02-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201811431705.3

  • 发明设计人 卢云君;唐锋;王向朝;

    申请日2018-11-28

  • 分类号G01B11/24(20060101);

  • 代理机构31317 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙);

  • 代理人张宁展

  • 地址 201800 上海市嘉定区清河路390号

  • 入库时间 2022-08-23 11:31:02

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