首页> 中文期刊> 《光子学报》 >中心轴支撑大口径反射镜面形装调控制方法

中心轴支撑大口径反射镜面形装调控制方法

         

摘要

本文运用力学分析方法,揭示了工程实践中的基于中心轴支撑的大口径高精度反射镜面型变化机理,通过有限元分析结果与实验结果的对比,提出了使用装调手段控制其在微小范围变形的基本方法;在对520mm口径中心轴支撑椭球面反射镜进行装调的实例中,运用该方法获得了RMS值1/50λ(λ=632.8nm)的面型精度.

著录项

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号