微滴发生器、微滴喷射装置和其制造方法

摘要

一种微滴喷射装置，包括：一安置在流体通道层上的隔膜层、一形成在隔膜层表面上的粗糙接合区域、一安置在接合区域上的具有共形凸起的接触区域的薄膜电路、许多粘接到共形凸起的接触区域上并电连接到共形凸起的接触区域上的机电换能器，凹凸不平的触点形成于共形凸起的接触区域与机电换能器之间。