一种利用压电效应箝位的超磁致伸缩直线驱动器

摘要

本发明公开了属于微机电设备技术领域的一种具有毫米级行程和纳米级定位精度的一种利用压电效应箝位的超磁致伸缩直线驱动器。该驱动器的基体与底座相连，带V形滑槽的两导轨固定在基体的两个内侧面上，柔性铰链框架两端的V型压头与两导轨的V形滑槽构成滑动配合，压电元件镶嵌在柔性铰链框架的正中间，一组柔性铰链框架和压电元件构成了一个箝位单元；超磁致伸缩元件两端通过两个连接件分别与前后两个柔性铰链框架相联成一体；高精度位移传感器通过连接板与超磁致伸缩元件连接。该驱动器具有结构紧凑、稳定性好的特点。实际运行表明该直线驱动器的有效行程超过5毫米、定位精度达到30纳米。这种驱动器有望在微米纳米精度的制造和检测中得到广泛应用。