用于蚀刻均匀性控制的可变深度边缘环

摘要

本发明提供一种用于蚀刻均匀性控制的可变深度边缘环。衬底支撑件包括布置成支撑衬底的内部部分、围绕内部部分的边缘环以及计算衬底支撑件的期望凹坑深度的控制器。凹坑深度对应于边缘环的上表面和衬底的上表面之间的距离。基于期望凹坑深度，控制器选择性地控制致动器以升高和降低边缘环和内部部分中的至少一个，以调节边缘环的上表面和衬底的上表面之间的距离。