一种具备状态自检功能的高结构强度MEMS安保装置

摘要

一种具备状态自检功能的高结构强度MEMS安保装置，整体呈叠层结构，从顶至底依次为含能药腔层、驱动芯片层、盖板层、微起爆器层以及Y型光纤，相邻层通过胶结键合的方式实现连接，盖板层中设有导电锡球，导电锡球用于实现驱动芯片层与微起爆器层的电信号连接；本发明利用光纤传感器实现机构内部运动状态的实时监测，并设计金属/硅复合隔板结构大幅提高器件的结构强度，具有状态自检、高结构强度、抗过载、大位移输出、状态自持等特点。