一种阵列孔空心阴极放电离子源

摘要

本发明公开了一种阵列孔空心阴极放电离子源，包括基座、阳极栅网、磁体、绝缘组件、进气座、阵列孔板，其中进气座及阵列孔板为同电位的放电组件，绝缘组件将放电组件与基座之间以及阳极栅网与基座之间形成电位绝缘；阵列孔板为设置有多个阵列贯通孔的金属板，放电组件在一定真空度时产生辉光放电，放电过程中贯通孔会产生空心阴极效应电子汇聚，多个阳极栅网装配在基座上，磁体套装在基座上，放电产生的电子在电磁场作用下与工艺气体碰撞形成阳离子，多个阳极栅网既可以吸收电子又可以加速阳离子，实现高能离子的射出。本发明利用贯通孔辉光放电过程中的空心阴极效应在电磁场作用下汇聚射出高能离子，为真空涂层工艺过程提供高能离子。