公开/公告号CN100424837C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-10-08
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN200510126327.4
申请日2005-12-07
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人汤保平
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 09:01:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-02-23
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/331 授权公告日:20081008 终止日期:20100107 申请日:20051207
专利权的终止
2008-10-08
授权
授权
2007-08-08
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-06-13
公开
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