公开/公告号CN110256079B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-26
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院地球化学研究所;
申请/专利号CN201910563132.8
申请日2019-06-26
分类号H01M4/58(20100101);H01M4/1397(20100101);C01G49/12(20060101);
代理机构52100 贵阳中新专利商标事务所;
代理人商小川
地址 550081 贵州省贵阳市观山湖区林城西路99号
入库时间 2022-08-23 11:30:19
机译: 高纯锆或HA,溅射由高纯锆或AND和使用该靶制成的薄膜的靶,以及高纯锆或HA的生产方法以及高纯锆或HA的粉体的制备方法
机译: 高纯锆或HA,溅射由高纯锆或AND和使用该靶制成的薄膜的靶,以及高纯锆或HA的生产方法以及高纯锆或HA的粉体的制备方法
机译: 高纯锆或HA,溅射由高纯锆或AND和使用该靶制成的薄膜的靶,以及高纯锆或HA的生产方法以及高纯锆或HA的粉体的制备方法