公开/公告号CN109786204B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-26
原文格式PDF
申请/专利权人 武汉江海行纳米科技有限公司;
申请/专利号CN201910047089.X
申请日2019-01-18
分类号H01J37/34(20060101);H01J37/08(20060101);C23C14/46(20060101);
代理机构42214 武汉华旭知识产权事务所;
代理人周宗贵;刘荣
地址 430000 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区光谷大道41号现代·国际设计城一期4栋14层03号C12(自贸区武汉片区)
入库时间 2022-08-23 11:30:16
机译: 气体团簇离子束的系统和方法学气体团簇离子束
机译: 气体团簇离子束照射装置和气体团簇离子束照射方法
机译: 气体团簇离子束发射装置和用于气体团簇电离的方法