一种非球面超精密抛光与形状误差补偿方法

摘要

本发明提供一种非球面超精密抛光与形状误差补偿方法，使非球面光学透镜模具数控加工具有更高精度的形状和更好的表面加工质量。本发明一种非球面超精密抛光与形状误差补偿方法的技术方案包括：步骤一，根据加工参数与加工轨迹，生成数控加工代码，并输入到多轴机床对工件进行抛光加工；步骤二，抛光后，采用多轴机床的高精度在位检测装置对所加工的工件面型的形状精度进行在位测量；步骤三，判断测量结果是否满足预设的形状精度，若是，则抛光结束。