用于OPC验证的验证图形的量化分析方法

摘要

本发明公开了一种用于OPC验证的验证图形的量化分析方法，包括步骤：步骤一、创建验证图形的图形索引并存入数据库；步骤二、统计错误点，截取比对图形块，计算特征值，创建各特征值对应的错误点索引；将错误点索引、对应的比对图形块和特征值存入数据库；步骤三、进行统计分析，包括：步骤31、搜索错误点索引，统计得到各特征值相应的频次列表；步骤32、将频次列表归一化，进行二维积分计算得到特征值的分布值；步骤四、生成测试图形，包括：步骤41、根据特征值的分布值，得到错误点索引矩阵；步骤42、采用蒙特卡洛抽样，得到一组错误点索引，寻找对应的对比图形块并生成所述测试图形。本发明能省时省力并更为精准的提升OPC制程。