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一种具有电磁屏蔽功能的射频芯片系统级封装工艺

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本发明公开了一种具有电磁屏蔽功能的射频芯片系统级封装工艺，包括如下步骤：101）盖板处理步骤、102）铜柱处理步骤、103）制作空腔步骤、104）底座处理步骤、105）封装步骤；本发明提供在不增加成本和占用面积的情况下，实现了射频芯片间的电磁屏蔽功能的一种具有电磁屏蔽功能的射频芯片系统级封装工艺。

著录项

公开/公告号CN110010499B

专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-22

原文格式PDF
申请/专利权人浙江集迈科微电子有限公司;
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申请/专利号CN201811176851.6
发明设计人冯光建;丁祥祥;刘长春;马飞;程明芳;郭丽丽;郑赞赞;郁发新;
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申请日2018-10-10
分类号H01L21/50(20060101);H01L21/52(20060101);H01L21/56(20060101);H01L21/60(20060101);
代理机构33283 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人董世博
地址 313100 浙江省湖州市长兴县经济技术开发区陈王路与太湖路交叉口长兴国家大学科技园二分部北园8号厂房
入库时间 2022-08-23 11:29:47

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1. 一种具有电磁屏蔽功能的射频芯片系统级封装工艺 [P] . 中国专利： CN110010499B . 2021.01.22
2. 一种电磁屏蔽功能的射频芯片三维封装工艺 [P] . 中国专利： CN110010483A . 2019-07-12
3. System-in-package having embedded rf die coreless substrate [P] . 日本专利： JP6097837B2 . 2017-03-15

机译：具有嵌入式射频芯片无芯基板的系统级封装
4. Device for carrying out a biological modification of a fluid, device for carrying out a biological modification of a fluid in a living being, extra-corporeal device to provide a living being with one or more liver functions, intra-corporeal device to provide to a living being one or more liver functions, an intra-corporeal device to provide a living being with one or more kidney functions, an intra-corporeal device to provide a living being with one or more kidney and liver functions, an extra-corporeal device to provide one or more renal functions to a living being, method for carrying out a biological modification of a fluid from a living being, method for the preparation of a continuous planar organ, method for providing a living being with one or more liver functions , method to provide a living being with one or more kidney functions, method to prepare and use preserved organ microparts through cryogenic technique and method to provide a living being with one or more renal and liv [P] . BR0013042A . 2002-04-30

机译：用于对流体进行生物修饰的装置，用于对生物体内的流体进行生物修饰的装置，为生物提供具有一种或多种肝功能的体外装置，向生物体提供生命的体内装置一种或多种具有肝功能的生物，一种提供具有一种或多种肾功能的生物的体内装置，一种或多种具有肾脏和肝功能的生物的体内装置，为生物提供一种或多种肾功能，对生物进行流体生物学修饰的方法，制备连续平面器官的方法，为生物提供一种或多种肝功能的方法，方法提供具有一种或多种肾脏功能的生物，通过低温技术制备和使用保存的器官微粒的方法和方法提供具有一种或多种肾脏和生命的生物
5. A process for the preparation of a plurality of electronic components with electromagnetic shielding and electronic component with electromagnetic shielding [P] . 德国专利： DE102010033551A1 . 2012-02-09

机译：一种制备多个具有电磁屏蔽的电子元件和具有电磁屏蔽的电子元件的方法