基于多面体棱镜的多光束共聚焦高速扫描成像方法与装置

摘要

根据本发明的基于多面体棱镜的多光束激光共聚焦高速扫描成像方法与装置，装置包括聚焦物镜、光束变换透镜单元、二维振镜、二向色镜、聚焦透镜单元、阵列探测器以及多面体棱镜，多面体棱镜、二向色镜以及二维振镜沿第一光轴线依次设置，二维振镜、光束变换透镜单元、聚焦物镜沿与第一光轴线垂直的第二光轴线依次设置，二向色镜、聚焦透镜单元、阵列探测器沿与第一光轴线垂直的第三光轴线依次设置，利用多面体棱镜在聚焦物镜的聚焦面上产生阵列聚焦光斑，实现多点同时扫描成像，显著提高了激光共聚焦扫描成像的帧速，达到高速成像的目的。N个聚焦光斑的多点扫描成像的成像速度可以提高N倍；对于帧速相同，一帧图像的像素数可以提高N倍。