一种激光白光复合干涉测量系统及方法

摘要

本发明公开了一种激光白光复合干涉测量装置及方法，可以将单色光相移干涉与白光扫描干涉相结合，提高系统的测量性能。该测量装置包括白光LED光源、准直透镜、滤光片、光学显微干涉模块和图像采集装置。测量方法是首先对被测样品进行白光扫描干涉测量。然后进行单色光相移干涉测量，只需在分光镜前放置滤光片即可，其它部分与白光扫描干涉相同。将白光扫描干涉测量结果与单色光相移干涉测量结果相结合，可以解决单色光相移干涉中存在的相位模糊问题；相对于白光扫描干涉，复合干涉测量结果具有更高的精度。另外，本发明复合干涉测量系统采用Michelson干涉结构，其横向测量范围远大于商业白光干涉Mirau结构的测量范围，对于大尺寸零件表面检测具有更大优势。