一种高真空用微型插板阀装置

摘要

本发明公开了一种高真空用微型插板阀装置。所述微型插板阀装置包括用于装载待测样品的样品台；用于封闭样品的密封腔室；密封腔室供样品与大气环境隔绝且进入高真空环境、供样品离开高真空环境进行样品回收及转移；与密封腔室相连接的传送机构；密封腔室为由第一密封滑块和第二密封滑块形成的封闭空间，第一和第二密封滑块通过楔形结构相配合，从而使第一密封滑块能够水平正向推动以及水平反向拉动第二密封滑块运动。通过将样品装载于微型插板阀装置内，从而实现待测样品在制样、转移、观察及回收过程中与大气环境的隔绝，保证待测样品从制样到观察至回收的整个过程都在惰性气体或真空环境下完成，可大大提高检测结果的可靠性和准确度。