低粒子真空插板阀粒度检测平台的优化设计与实现

目录

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第一章 绪论

1.1 课题背景及研究意义

1.2颗粒粒度检测技术的发展概况

1.3 低粒子真空插板阀粒度检测研究情况

1.4 主要研究内容

第二章 粒度检测方案优选与详细设计

2.1 基于数字图像处理技术的颗粒物粒度检测分析方法

2.1.1 数字图像处理技术理论基础

2.1.2 采用数字图像处理技术的粒度检测方案设计

2.2 基于光学粒子计数器的颗粒物粒度检测分析方法

2.2.1 光散射法测量颗粒物粒径的理论基础

2.2.2 采用光学粒子计数器的粒度检测方案设计

2.3 基于扫描电迁移率颗粒物粒径谱仪的颗粒物粒度检测分析方法

2.3.1 扫描电迁移率颗粒物粒径谱仪工作原理

2.3.2 采用扫描电迁移率颗粒物粒径谱仪的粒度检测方案设计

2.4 三种检测方案的优缺点及可行性分析

2.5 低粒子真空插板阀粒度检测详细检测方案的制定

2.6 本章小结

第三章 真空系统理论分析及关键部件选型

3.1.1 真空概念及真空度

3.1.2 理想气体基本定律

3.1.3 管路内气体流动相关理论

3.2.1 真空室强度计算相关理论

3.2.2 真空密封法兰及管道

3.2.3 真空系统相关参数分析与设计

3.3.4 本项目设计的真空系统相关参数理论推导

3.3.1 涡轮分子泵

3.3.2 涡旋干泵

3.3.3 激光粒子计数器

3.4 本章小结

第四章 低粒子阀粒度检测平台结构设计

4.1 设计要求及结果展示

4.2.1 工作台

4.2.2 真空系统

4.2.3 吹扫系统

4.2.4 真空腔测试系统

4.3.1 压缩空气驱动系统

4.3.2 电气系统硬件布局

4.4 本章小结

第五章 关键结构件仿真与优化分析

5.1.1 工作台框架结构的静力学仿真分析

5.1.2 工作台框架结构的模态仿真分析

5.2.1 保压真空室受静压的力学仿真分析

5.2.2 保压真空室中的的气体流动仿真分析

5.3 低粒子阀夹板装置的静力学与气体流动性仿真分析与优化

5.3.1 矩形阀夹板装置受静压的力学仿真分析

5.3.2 矩形阀夹板装置的气体流动性分析

5.3.3 圆形阀夹板装置受静压的力学仿真分析

5.3.4 圆形阀夹板装置的气体流动性分析

5.4 本章小结

第六章 低粒子真空插板阀粒度检测平台的实现

6.1粒度检测平台的整体实现

6.2 各组成系统装配过程

第七章 总结与展望

7.1 总结

7.2 展望

致 谢

参考文献

攻读硕士学位期间取得的科研成果