公开/公告号CN100423199C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-10-01
原文格式PDF
申请/专利权人 JSR株式会社;
申请/专利号CN200480030494.2
申请日2004-10-06
分类号H01L21/28(20060101);H01L21/288(20060101);B05D3/00(20060101);B32B15/01(20060101);C01B33/04(20060101);C07F17/02(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人邰红;邹雪梅
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:01:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-09-25
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/28 授权公告日:20081001 终止日期:20171006 申请日:20041006
专利权的终止
2008-10-01
授权
授权
2008-10-01
授权
授权
2007-01-17
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-01-17
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-11-22
公开
公开
2006-11-22
公开
公开
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