基于组合X射线毛细管的微束X射线荧光分析方法

摘要

一种基于组合X射线毛细管的微束X射线荧光分析方法，包括如下步骤：1)先利用可见光激光器进行系统光轴校准，校准完成后将发出不可见的X射线辐射的X射线光管移入系统光轴；2)利用基于组合X射线毛细管器件形成荧光探测微束；3)X射线光照射在所述组合X射线毛细管器件上，位于不同位置的每一个X射线毛细管透镜分别对入射其的那部分X射线光聚焦，多个焦斑的叠加最终形成X射线探测微束，并照射到样品台上的被检样品；4)所述X射线探测器贴近样品台上的被测样品放置，收集X射线探测微束照射被测样品所产生的二次荧光，并送入信息采集分析模块进行荧光分析。本发明同时具备高微区分辨率和高探测灵敏度，并可进行现场分析。