真空蒸镀设备、真空蒸镀多种材料的方法和有机电荧光器件

摘要

一真空蒸镀设备，该设备包括：具有多个蒸发源和一第一加热器的一真空室，所述第一加热器用于加热蒸发源以实现在该真空室内的至少一基片的一表面上的真空蒸镀；诸蒸发源中的至少一个使用一有机材料；一热壁，所述热壁位于真空室内；一将热壁加热到该有机材料既不附着又不分解的一温度的第二加热器，所述热壁包围诸蒸发源和基片在其内相互面对的一空间；以及，通过加热诸蒸发源同时使诸蒸发源和基片彼此相对移动，使所述有机材料被蒸镀在基片的表面上。