利用脉冲激光沉积技术调控晶格应力制备固体氧化物燃料电池的方法

摘要

本发明公开了利用脉冲激光沉积技术调控晶格应力制备固体氧化物燃料电池的方法；该方法先制备NNO靶材，然后将NNO靶材固定于脉冲激光沉积仪真空腔室的靶材托；将单晶衬底YSZ固定在PLD样品托上，在真空条件下升温至590‐610℃；通入纯氧，0.8‐1.2Pa氧压中稳定0.4‐0.6h；溅射PLD靶材NNO氧化物，金属蒸汽沿激光法线方向依次沉积在单晶衬底YSZ上，调节激光脉冲数控制NNO氧化物薄膜厚度为9‐50nm；最后涂刷法涂刷阴极浆料。本发明通过对晶格应力的调控，制备的固体氧化物燃料电池的性能得到大幅提升，稳定性好；同时兼具有安全性好、成本低廉、环保污染少等优势。