基于纳米阵列的弹道输运肖特基二极管及其制作方法

摘要

本发明公开了一种基于纳米阵列的弹道输运肖特基二极管及其制作方法。所述基于纳米阵列的弹道输运肖特基二极管包括导电衬底，所述导电衬底的第一表面设有一个以上半导体纳米凸起部，所述半导体纳米凸起部的顶端与第一电极电连接，且所述半导体纳米凸起部与第一电极形成肖特基接触，所述导电衬底的第二表面与第二电极电连接，所述第二表面与第一表面相背对设置，所述半导体纳米凸起部的高度小于或等于载流子平均自由程。本发明的肖特基二极管在应用时，载流子在半导体纳米柱间的传输以弹道输运或准弹道输运的方式进行，实现了更低导通电阻、更快工作频率、更少工作能耗和更小器件尺寸的肖特基二极管。