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一种光谱仪的中阶梯光栅姿态调整方法和校准装置

摘要

本发明属于光谱仪分光系统领域,涉及一种光谱仪的中阶梯光栅姿态调整方法和校准装置。本发明的调整方法利用中阶梯光栅的衍射理论,结合分光模块光学系统的具体参数,精确计算中阶梯光栅多个衍射级次的光斑成像在中阶梯光栅姿态调整校准装置上的相对位置,并做出相应标记,据此通过中阶梯光栅固定结构调整中阶梯光栅的三维姿态。本发明的校准装置基于中阶梯光栅衍射理论与光学系统具体参数设计而成,计算精确,易于实现,可操作性强,能够精确实现中阶梯光栅在光谱仪中的姿态调整;同时,该中阶梯光栅姿态调整校准装置装适用性强,当光学系统相关光学参数发生变化时,仅需重新计算设计中阶梯光栅各衍射级次的光斑对应位置即可。

著录项

  • 公开/公告号CN108181238B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-12-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 钢研纳克检测技术股份有限公司;

    申请/专利号CN201810116151.1

  • 申请日2018-02-06

  • 分类号G01N21/01(20060101);G01N21/27(20060101);

  • 代理机构11248 北京中安信知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人李彬;张小娟

  • 地址 100081 北京市海淀区高粱桥斜街13号

  • 入库时间 2022-08-23 11:26:01

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