基于压电-磁各向异性耦合结构的电场测量MEMS传感装置

摘要

一种基于压电‑磁各向异性耦合结构的电场测量MEMS传感装置，包括压电材料，所述压电材料底面粘附底部金属，顶面粘附铁磁薄膜与金属电极。其有益效果是：具有较大的测量范围及较高的灵敏度，暂态响应速度快，拥有宽频高场强的电场测量范围，并具有很好的温度稳定性，高集成度，体积小，为电力系统、航空航天、气象监测等领域提供了高性能、低成本、安全可靠的电场传感器。