原子层生长装置及原子层生长方法

摘要

一种原子层生长装置，具有：成膜容器(11)，其进行成膜处理；能够上下移动的载物台(14)，其设置在成膜容器(11)内，并保持基板(100)；载物台停止器(17)，其使载物台(14)的上升停止，并通过与载物台(14)的接触而划分出进行上述成膜处理的成膜空间(S)和进行基板(100)的搬送的搬送空间；周边部载物台防附着材料(15)，其覆盖载物台(14)的周边部；载物台停止器防附着材料(24)，其设置在载物台停止器(17)上。