一种过渡族金属元素与氮共掺杂生长金刚石的方法

摘要

一种过渡族金属元素与氮共掺杂生长金刚石的方法，属于金刚石化学气相沉积技术领域。利用双频射频等离子体化学气相沉积设备进行制备，高频射频源频率范围为10MHz～30MHz，低频射频源频率范围为1MHz～8MHz，高频射频源与低频射频源的频率比为3.39。在气体供给中加入氨气或氮气，将过渡金属粉末或线材置于石墨坩埚中，反应气体为氩气，氢气，甲烷和氨气或氮气，在沉积过程中，通入氨气或氮气，并利用运动机构将坩埚移动到等离子体束流附近，过渡族金属元素原子挥发进入等离子体中，并与其中的氮元素混合，运送到衬底，实现共掺杂金刚石的生长。