快速热退火工艺能力的监控方法

摘要

本发明提供了一种快速热退火工艺能力的监控方法，通过在所述晶圆边缘至所述晶圆圆心之间的区域设置多个测试区，然后将所述晶圆表面非晶化，再对所述有源区进行正常的源漏离子注入和快速热退火工艺，所述快速热退火工艺修复激活所述有源区注入的杂质，并且修复所述晶圆表面因为非晶化而产生的晶格缺陷，通过获取所述测试区的晶化参数以得到所述晶圆表面的晶化参数与位置的实际对应关系，将所述实际对应关系与一理想对应关系进行比较就能够判断出所述快速热退火工艺能力是否满足控制要求，实现对快速热退火工艺的在线监控，避免不同的批次间的晶圆存在差异而导致器件的性能差异。