彩色共焦点传感器和测量方法

摘要

本发明涉及一种彩色共焦点传感器和测量方法。所述彩色共焦点传感器包括：光源部，用于发射波长不同的多个光束；光学头，其包括用于使所述多个光束收敛于不同的聚焦位置的物镜，并且用于选择所述多个光束中的被所述聚焦位置处的被测物体反射的光作为测量光；分光器，其包括用于将所选择的测量光分割成多个衍射光束的衍射光栅、和用于接收所述多个衍射光束中的两个或更多个衍射光束的传感器；以及信号处理控制部，用于基于所述传感器所接收到的所述两个或更多个衍射光束的受光位置之间的差来计算所述被测物体的位置。