一种用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置

摘要

根据本发明所涉及的一种用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置，因为包括与磁性复合流体供给装置相连通储液筒以及设置在储液筒的外部的固液转化部，固液转化部包含沿储液筒的长度方向依次设置的m个固液转化单元，m个固液转化单元分别与m个微沟槽相对应，每个固液转化单元含有n个固液转化管道以及n个励磁线圈，n个固液转化管道且分别与储液筒相连通，当来自磁性复合流体供给装置的磁性复合流体经储液筒流过固液转化管道时，磁性复合流体在固液转化管道的出口处形成抛光磨粒，抛光磨粒用于对m个微沟槽同时进行抛光。所以，本发明中的一种用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置，能够同时抛光多个微沟槽。