分辨至少两个光谱范围的高分辨率扫描显微术

摘要

出于高分辨率扫描显微术的目的，样品(2)由照明辐射(5)激发以发射荧光辐射，使得照明辐射(5)聚焦在样品(2)中或样品(2)上的点，以便于形成衍射受限照明斑(14)。以衍射受限方式将该点成像在检测器(19)上的衍射图像(17)中，其中检测器(19)具有检测器元件(25)和多个位置通道(21)，该位置通道(21)分辨衍射图像(17)的衍射结构。以具有小于照明斑(14)的一半直径的增量的多个扫描位置扫描样品(2)。从检测器(19)的数据和从与这些数据相关联的扫描位置产生样品(2)的图像，该样品(2)的图像具有增加超过图像的分辨率极限的分辨率。为了在至少两个预定光谱通道(R、G)之间区分样品(2)的荧光辐射，对于每个位置通道(21)存在通向分离元件(30)的独立的射束路径，该分离元件(30)在光谱上将这些射束路径分开到光谱通道(R、G)并且然后将不同位置通道的光谱通道(R、G)重新混合到附加独立射束路径(28)上的相同数量中，使得多个附加独立射束路径(28)接收不同光谱通道(R、G)中以及来自不同位置通道(21)的辐射，并且这些附加独立射束路径(28)中的每一个通向检测器元件(25)中的一个。