一种分区块式强化沸腾换热微结构及其制造方法

摘要

本发明公开了一种分区块式强化沸腾换热微结构及其制造方法，包括散热板，散热板上设置有若干圆形的区块单元，每个区块单元由若干圈微柱组成，所述区块单元呈阵列分布在散热板上。一方面，本发明可限制高热流密度时气柱的间距及气柱的半径，阻碍气柱间合并，显著地强化了高热流密度区的沸腾换热性能，大大地提高芯片沸腾换热的临界热流密度。另一方面本发明的每个区块单元呈同心圆布置的圆形微柱，从内圈到外圈微柱间的间距依次增大，可以减小流体从光滑区域定向输送至微结构区域的流动阻力，在高热流密度下将新鲜液体及时供给到汽泡中心底部，从而维持汽泡蒸发，从而进一步提高临界热流密度。