公开/公告号CN107688419B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-27
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州浪潮智能科技有限公司;
申请/专利号CN201710571308.5
发明设计人 李玲侠;
申请日2017-07-13
分类号G06F3/0481(20130101);
代理机构37205 济南舜源专利事务所有限公司;
代理人张亮
地址 215100 江苏省苏州市吴中区吴中经济开发区郭巷街道官浦路1号9幢
入库时间 2022-08-23 11:23:03
机译: 进度表制作装置,基板处理装置,进度表制作程序,进度表制作方法以及基板处理方法
机译: 进度表制作装置,基板处理装置,进度表制作程序,进度表制作方法以及基板处理方法
机译: 工作进度控制系统,工作进度状态数据制作方法,工作进度状态数据和工作进度状态数据提供方法