法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2002-06-26
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
1998-09-09
授权
授权
1994-11-16
公开
公开
1994-11-02
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
机译: 非晶态复合氧化物膜,结晶态复合氧化物膜,非晶态复合氧化物膜的制备工艺,晶态复合氧化物膜的制造工艺,以及复合氧化物烧结体
机译: 非晶态复合氧化物膜,结晶态复合氧化物膜,非晶态复合氧化物膜的制备工艺,晶态复合氧化物膜的制造工艺,以及复合氧化物烧结体
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